BEANSプロジェクト活動のまとめ-研究目標 4/5


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研究開発項目別目標(4/5)　～研究項目③

　③　マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の開発

(上図中の 想定出口デバイス 部分の拡大)

　マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の研究開発成果です。今後、大面積シリコン機能膜形成装置、繊維状基材への連続成膜装置、リールツーリール連続インプリント装置、フレキシブル集積デバイスなどの実用化につながることが期待されます。