<< 8.研究目標 2/5 | 9.研究目標 3/5 | 10.研究目標 4/5 >> 研究開発項目別目標(3/5)　～研究項目② 　②　3次元ナノ構造形成プロセス技術の開発 拡大図 (PDFファイル)　研究開発成果詳細　研究報告書(PDF,66MB) (上図中の 想定出口デバイス 部分の拡大) 　3次元ナノ構造形成プロセス技術の研究開発成果です。今後、中性粒子ビームエッチング装置、バイオ分析チップ、プローブ顕微鏡CNT探針、プローブリソグラフィー装置、高感度多孔質ガスセンサ、CNT応用ガスセンサなどの実用化につながることが期待されます。 　 　特許ショップ　知識データベース　PJ 成果サマリー　活動まとめ　BEANSセミナー  一般財団法人マイクロマシンセンター　　BEANS OUTCOME Copyright © Micromachine Center. All rights reserved.